压电纳米显微镜平台采用压电马达驱动;断电自锁,内具刹车功能,无回程间隙。
最小步进距小于50nm;
可选配磁栅或光栅位置反馈;
超薄紧凑设计,高度仅41mm;
适合用作各种显微镜和测试设备载物台。
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