压电纳米升降台采用锲型结构设计,单/双压电马达驱动;断电自锁,内具刹车功能,无回程间隙。
最小步进距离小于20nm;
可选配磁栅或光栅位置反馈;
结构紧凑,可以和其他位移台直接叠堆成模组。
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