应用领域:GALMA 系列是一款直驱电机驱动的纳米定位线性定位平台,常用作光纤对准和优化、光学制造、测试和检验、传感器测试和鉴定、半导体加工与检测、研究与实验室应用等领域,用途广泛。
结构特点:坚固可靠的机械结构,低摩擦阻力防蠕动交叉滚柱导轨、无铁心高效率直驱电机可最大限度地减少发热、高刚性的航空铝合金基座为其提供了超长的使用寿命和一致的定位性能。
精度性能:高性能的无铁心高效率直驱电机以及光栅尺,可达纳米级的重复定位精度。
定制与集成的灵活性:GALMA 系列设计有许多标准功能和选型,可满足多样化的用户需求和配置,可进行快速的系统开发,极大的减少了设计和开发的工作量提升工作效率高性能的无铁心高效率直驱电机以及光栅尺,可达纳米级的重复定位精度。
高精度直驱电机以及低摩擦阻力防蠕动交叉 | 滚柱导轨可确保无波纹运动 |
卓越的机械刚性,高精度以及纳米重复性 | 最小增量运动为 5nm |
光栅尺闭环反馈 | 可提供真空兼容 |