应用领域：GALVA 系列是一款伺服电机驱动的垂直线性定位平台，常用高度受限的应用或多个定位载物台堆叠的情况包括晶圆检测、表面计量、激光微加工、精密制造，用途广泛。
结构特点：坚固可靠的机械结构，低摩擦阻力防蠕动交叉滚柱导轨导向、精密研磨滚珠丝杆驱动、高刚性的航空铝合金基座、高性能伺服电机为其提供了超长的使用寿命和一致的定位性能。
精度性能：高性能的伺服电机以及可选配的光栅尺，可达亚微米的重复定位精度。
定制与集成的灵活性：GALVA 系列设计有许多标准功能和选型，可满足多样化的用户需求和配置，可进行快速的系统开发，极大的减少了设计和开发的工作量提升工作效率。
| 研磨级滚珠丝杆以及低摩擦阻力防蠕动交叉滚柱导轨 | 卓越的几何性能，出色的最小增量步长和在位稳定性 |
| 光栅尺闭环反馈 | 可提供真空兼容 |
