欧普特科技研发生产的精密气浮光学平台,能够满足精密负载对振动隔离需求,且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案,改善振动环境,以发挥设备仪器的最佳效能。适合于显微镜、光路测试、光学测量、激光干涉、激光扫描、光谱实验等领域应用。
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平面度:≤0.05mm |
表面粗糙度:≤0.8μm |
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减振效率:x方向<5Hz时:88%~94% y方向<5Hz时:86%~92% x方向<10Hz时:92%~98% y方向<10Hz时:90%~95% |
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固有频率:x方向:1.2Hz~2.0Hz y方向:1.2Hz~2.0Hz |
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振幅:<1.2μm |
重复定位精度:±0.05mm |